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簡要描述:Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺、Etch機(jī)臺中的氣體控制核心部件
Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS
介紹:
質(zhì)量流量控制器是一種可直接測量氣體的質(zhì)量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。不因環(huán)境溫度和使用壓力等條件的變化而改變,可實(shí)現(xiàn)高精度且穩(wěn)定的流量控制,應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域。
Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS
基本特點(diǎn):
1、直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量:測量準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好,可在較大量程范圍內(nèi),直接測量流體質(zhì)量流量。
2、計(jì)量的精度高:該流量計(jì)的質(zhì)量流量測量精度為0.2級。
3、工作穩(wěn)定可靠:流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動部件,因而可靠性高、壽命長。
4、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬:除一般粘度的均勻流體外,還可測量高粘度流體(蜂蜜、油漿等);不僅可以測量單一溶液的流體參數(shù),還可以測量多相流;無論介質(zhì)是層流還是紊流,都不影響其測量精度。
5、廣泛的應(yīng)用環(huán)境:適用于石油化工、化學(xué)、冶金、制藥、造紙、食品、能源和環(huán)保等行業(yè),在工藝過程的檢測控制和貿(mào)易交接計(jì)量等場合,獲得了廣泛的應(yīng)用。
6、多種實(shí)時在線測控功:除質(zhì)量流量外,還可直接測量流體的密度和溫度。智能化的流量變送器,可提供多種參數(shù)的顯示和控制功能,是一種集多功能為一體的流量測控儀表。
7、可擴(kuò)展性好:公司可根據(jù)用戶需要,專門設(shè)計(jì)和制造特殊規(guī)格型號和特殊功能的質(zhì)量流量計(jì);還可進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控操作等。
HORIBA集團(tuán)向遍布全球各地的用戶大量提供分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。應(yīng)用范圍從汽車發(fā)動機(jī)尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測,體外醫(yī)療檢測,半導(dǎo)體制造和計(jì)量,涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì)量控制測量。
實(shí)踐證明,質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對HORIBA集團(tuán)品牌的信任。
半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。由研發(fā)專家研究與開發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對不同流體控制技術(shù)的需求。為滿足不同市場、不同工藝需求,半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實(shí)現(xiàn)匹配工藝需求。
暢銷型號
數(shù)字型質(zhì)量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本數(shù)字型質(zhì)量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模擬型質(zhì)量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液體質(zhì)量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。
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